真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。
1． 真空炉处置钛合金时，不宜用氮气作为冷却气体，由于钛和氮在高温下反响，构成金黄色的氮化钛。
2． 真空炉活动衔接有些悉数选用O型橡胶圈密封衔接，此有些均通水冷却。
3． 工件在真空状态下淬火，应运用真空淬火油，此油具有较低的饱满蒸气压。
4． 真空炉的保护应在真空或充纯氮状态下，防止平常不用时吸气，吸潮。
5． 国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h ，国外某些公司的规范为0.67Pa/h
6． 真空加热以辐射为主，工件在炉内大概坚持距离。
7． 升温过程中，工件及炉内资料会放气，使真空度降低。
8． 真空回火、真空退火、真空固溶处置及真空时效的加热温度通常与惯例处置时加热温度一样。
9． 真空回火炉大概具有快冷设备。冷却水的压力大概大于0.2Mpa，流量应可调。
10． 冷却气体：钢通常选用百分之99.995纯度的氮气，高温合金选用百分之99.999的氮气或氩气，钛合金选用百分之99.995的氩气。
11． 升温：放入工件后，通常先预抽至6.67Pa时方可升温加热
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