真空炉电热元件除具备普通热处理电炉使用的特性外，还需具有在真空条件下工作的特点，如电热材料应不易挥发，不产生真空放电等。
珠海真空热处理电炉常用的电热材料主要有如下几种:
1、合金电热材料:主要是指铁铬铝合金与镍铬合金两种。它们的共同特点是:电阻系数较大，电阻温度系数较小，耐热性好，因此，在加热过程中工作稳定。但在真空下，由于铬元素的蒸气压高，容易挥发，所以使用范围受到一定的限制。一般只能用在中、低温和中、低真空热处理炉或外热式真空热处理炉上。
镍格合金加工性能好，制造容易，经高温加热不易脆化，便于返修和焊接，具有较好的抗氮气能力，但抗渗碳能力差。铁格铝合金是我国应用广泛的电热材料，它具有较强的扰渗碳、耐硫、耐各种碳氮气体的能力。但其加工性能差，制作较难，经高温加热后晶拉变粗，材质变脆，不便于返修和焊接。
2、纯金属电热材料:主要有铂、相、钨、钽等，它们的共同特点是熔点高，抗氧化性能差，只能在真空或保护气氛下使用。由于它们的电阻系数小，电阻温度系数大，因此，随着温度的变化，炉子功率有很大的变化。为了稳定功率，必须采用调压器调节。
3、非金属电热材料:主要碳化硅、二硅化相和石墨，其性能见下表。由于碳化硅在真空下粘结剂易分解，二硅化铝在真空下超过1300℃时会软化，所以，真空热处理电炉较少采用这两种电热材料。石墨具有热膨胀系数小，加工性能好，耐高沮、耐急冷急热性好以及价格低廉等优点，但在高温下石墨与氧亲和力很强，所以，应在还原性保护气氛和真空下使用。目前，石墨已广泛地应用在珠海真空热处理电炉上。
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