本文以我公司首台油淬气冷多用珠海真空热处理的现场检漏分析为例，介绍了在没有专用检漏仪器的情况下，以理论分析判断为主的检漏方法，以及对珠海真空热处理现场检漏的相关理论和注意事项进行了论述。
真空度快速下降，一般不用多考虑，肯定存在泄漏点。快速泄漏原因的查找较微量泄漏容易的多，应用理论分析的方法就可解决问题，最多辅之以简易的检漏方法，就可以找到泄漏点。理论分析的基础是数据，没有真实、详细的数据是无法进行理论分析的。当珠海真空热处理的真空度出现异常时，要详细观察真空度下降的过程、真空度下降前后设备的工作情况、设备上各指示仪表的数据变化情况，包括回充气压力表的变化情况，这些数据是进行理论分析的重要依据。有时候依据数据变化情况进行理论分析甚至可以直接找到泄漏点。下面举两个应用理论分析找到泄漏点实际例子。
某设备有一次在正常工艺运行的过程中，真空炉加热区的真空度突然快速下降，观察淬火区的真空度基本正常没有变化，当加热区的真空度低于淬火区的真空度后，加热区的真空度仍然下降，淬火区的真空度还是正常没有大的变化，派设备操作者检查设备上加热区真空泵的工作情况，回报都工作正常。工艺过程是在回充气的过程中发生的，立即让设备操作者去检查回充气储罐的压力表变化情况，回充气储罐的压力在连续下降，初步确认可能是回充气阀有问题，马上让操作者把储气罐的供气阀关上，这时加热区的真空度开始上升，从而证实了确实是回充气阀泄漏造成的加热区的真空度下降。站在控制室里观察仪表的变化情况，派操作者分头去检查泵和储气罐的变化情况，3min内就把故障排除了。其实当时脑子里还想了很多，首先排除了测量系统的故障，真空规的污染对真空度的影响应该是一个缓慢变化的过程；也不会是真空室内工件表面放气引起的，因它不会产生如此大的脱气量；一定是突发的大漏孔引起的。这种漏孔的泄漏一般不会发生在静密封处，多发生在动密封处，马上想到加热区的动密封有几处，目前的工作状态与哪部分有关，既然是在热区回充气的过程中发生的，那么就是它的问题了。停炉后检修阀门，从根本上解决了问题。再举一个淬火区的真空度的问题。该设备：由主粗机械泵和罗茨泵组成的抽气系统，同时连着热区和冷区，开炉时先由它抽热区，当热区达到一定的真空度时，由它转抽冷区，而这时由前置机械泵和扩散泵组成的抽气系统抽热区。有一次开炉后，先由主粗机械泵和罗茨泵组成的抽气系统抽热区，然后转抽冷区，由前置机械泵和扩散泵组成的抽气系统抽热区。热区的真空度达到了极限真空度，而冷区的真空度达不到要求，检查泵的工作状态都正常，机械泵也定期进xx镇了，初步判断冷区有泄漏，热区的真空度正常，说明不是中间门的问题，如果中间门有泄漏，冷区的真空度反而会提高，因热区的真空度高，前置机械泵和扩散泵组成的抽气系统会帮着抽冷区。从冷区经常活动的部位就只有前门了，初步怀疑前门密封有问题，再者检查前门密封是最容易的，也不需要拆设备，属于正常的维护，停炉更换密封后问题解决了。
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