真空淬火，是指实现零件的光洁淬火。零件的淬火冷却在真空炉内进行，淬火介质主要是气(如惰性气体)、水和真空淬火油等。真空淬火已大量应用于各种渗碳钢、合金工具钢、高速钢和不锈钢的淬火，以及各种时效合金、硬磁合金的固溶处理。
目前，真空热处理高压气冷淬火技术发展迅速，出现了负压高流量气冷、加压气冷、高压气冷、超高压气冷等新技术，不仅大大提高了真空热处冷淬火能力，而且具有工件表面光亮度好、变形小、效率高、节能、无污染等优点。
真空热处理高压气冷淬火的用途是材料的淬火和回火、不锈钢和特殊合金的固溶、时效性、离子渗碳和碳氮共渗、真空热处理烧结、钎焊后的冷却和淬火。
用6×105Pa高压氮气冷却淬火时，冷却负载只能松散，高速钢可淬透至70~100mm，高合金热作模具钢可达25~100mm；用10×105Pa高压氮气冷却淬火时，冷却负载可密集，比6×105Pa冷却时高30%~4O%左右。
用20×105Pa超高压氮气或氦气和氮气混合气冷却淬火时，冷却负载密集，可捆绑在一起，密度比6×105Pa氮气冷却时高80%~150%，可冷却所有高速钢、高合金钢、热作工模具钢、Cr13%铬钢和更多合金油淬钢，如大尺寸9Mn2V钢。
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